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產(chǎn)品名稱：場發(fā)射掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品型號(hào)：GeminiSEM 360

產(chǎn)品品牌：ZEISS 蔡司

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服務(wù)承諾：真實(shí)描述正品銷售售后保障

產(chǎn)品詳情

GeminiSEM 360 場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）

FE-SEM滿足亞納米成像、分析和樣品靈活性的高要求

蔡司GeminiSEM可助您輕松實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率的成像。出色的成像和分析技術(shù)更使FE-SEM（場發(fā)射掃描電子顯微鏡）如虎添翼。采用創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和全新樣品倉設(shè)計(jì)，不僅操作更加簡便，用途更加靈活多樣，還可為您帶來更高的圖像質(zhì)量。無需水浸物鏡即可拍攝低于1 kV的亞納米級(jí)圖像。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三種設(shè)計(jì)：

●　GeminiSEM 360 — 分析測試平臺(tái)的理想選擇

●　GeminiSEM 460 — 實(shí)現(xiàn)高效分析

●　GeminiSEM 560 — 表面成像的新標(biāo)準(zhǔn)

GeminiSEM 360

盡享表面敏感成像的優(yōu)勢并在低電壓或高探針電流下實(shí)現(xiàn)信息收集。了解Inlens探測器、NanoVP、關(guān)聯(lián)式成像查看或人工智能支持的圖像分割優(yōu)勢。

高樣品靈活性

★　GeminiSEM 360是用于分析測試平臺(tái)的理想設(shè)備，為材料和生命科學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域提供了至臻的功能性。

★　同名的Gemini 1電子光學(xué)設(shè)計(jì)提供表面靈敏的高分辨率圖像，即使在低電壓條件下仍具有出色的分辨率，并在高探針電流條件下提供快速成像。

★　Inlens二次電子成像和背散射電子成像可同時(shí)收集高分辨率的表面形貌和復(fù)合成分襯度信息（對(duì)電子束敏感樣品亦是如此）。

★　在低真空條件（即可變壓力）下對(duì)絕緣樣品進(jìn)行成像時(shí)，無需犧牲Inlens襯度：NanoVP保證了出眾功能，確保在不受荷電影響的情況下進(jìn)行Inlens成像。

出色的用戶體驗(yàn)

★　GeminiSEM 360帶來良好的用戶體驗(yàn)：憑借其寬闊的觀察視野和高度個(gè)性化的全新樣品倉，即使在面對(duì)超大型樣品時(shí)也能輕松檢測。

★　通過蔡司ZEN Connect實(shí)現(xiàn)的關(guān)聯(lián)式成像和關(guān)聯(lián)顯微技術(shù)，讓您暢享無縫導(dǎo)航。

★　使用自動(dòng)功能（如自動(dòng)聚焦功能和智能探測器），輕松獲得清晰圖像。

★　幾何對(duì)稱設(shè)計(jì)的EDS端口和共面式EDS/EBSD幾何結(jié)構(gòu)，讓您在執(zhí)行高效成像和分析工作流程時(shí)更加游刃有余。

★　蔡司Predictive Service（預(yù)防性維護(hù)）可讓您充分利用系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間，盡享隨時(shí)進(jìn)行定期維護(hù)的優(yōu)勢。

杰出的拓展能力

★　系統(tǒng)可不斷升級(jí)是保障您的投資的前提條件。因此，GeminiSEM 360也是蔡司ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)中的一員，讓您能夠暢享系統(tǒng)升級(jí)的便利。

★　ZEN Connect可結(jié)合多模態(tài)和多尺度數(shù)據(jù)，ZEN Intellesis用于高級(jí)人工智能所支持的圖像分割，ZEN的分析模塊用于報(bào)告和分析分割的數(shù)據(jù)，ZEN數(shù)據(jù)存儲(chǔ)讓您可以通過連接實(shí)驗(yàn)室中不同設(shè)備采集的數(shù)據(jù)來集中管理項(xiàng)目。

★　作為APEER社區(qū)的成員，您可訪問其他用戶創(chuàng)建的工作流和腳本，從而遠(yuǎn)程幫助您解決難題。

★　由于提供明確的升級(jí)路徑，系統(tǒng)可隨新功能的發(fā)布得到進(jìn)一步提升。

●　Gemini 1

基本原理簡介

FE-SEM專為高分辨率成像設(shè)計(jì)，性能的一個(gè)關(guān)鍵是其電子光學(xué)鏡筒。Gemini是為實(shí)現(xiàn)任何樣品的出色分辨率而特別設(shè)計(jì)的（尤其在低加速電壓下），可實(shí)現(xiàn)完整高效的探測，且操作簡單。

Gemini 1光學(xué)鏡筒包含電子束推進(jìn)器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)有以下三個(gè)主要特征：

✔ Gemini物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場與電磁場，在大幅提升光學(xué)性能的同時(shí)大大降低了對(duì)樣品的影響。如此也可實(shí)現(xiàn)對(duì)磁性材料等具有挑戰(zhàn)性的樣品的高品質(zhì)成像。

✔ Gemini電子束推進(jìn)器技術(shù)是一種集成光束減速器，確保了小尺寸的電子束斑和高信噪比。

✔ Gemini Inlens的探測設(shè)計(jì)原理通過同時(shí)探測二次電子（SE）和背散射電子（BSE），大幅縮短到圖像的時(shí)間，確保了高效的信號(hào)探測。

針對(duì)您的應(yīng)用，可以有以下優(yōu)勢：

✔ SEM電子束對(duì)準(zhǔn)可長期保持穩(wěn)定，改變探針電流和加速電壓對(duì)系統(tǒng)幾乎沒有影響。

✔ 幾乎無磁場泄露的光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)無失真高分辨率成像。

✔ 使用Inlens SE探測器，可通過真正的表面敏感性SE 1電子技術(shù)生成圖像，從而只獲得樣品最頂層的信息。

✔ 使用Inlens EsB探測器的探測設(shè)計(jì)理念，在非常低的電壓下獲得真實(shí)的材料成分襯度。

●　Gemini 2

充分利用快速分析

任何樣品的全面表征都需要高性能的成像和分析，另外，如今的用戶都希望設(shè)備易于設(shè)置和操作。Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)能滿足這些需求。

Gemini技術(shù)。Gemini 2電子光學(xué)鏡筒截面示意圖，包含一個(gè)雙聚光鏡、電子束推進(jìn)器、Inlens探測器和Gemini物鏡。

高分辨率成像與分析可無縫切換

✔ GeminiSEM 460配備具有雙聚光鏡的Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)。

✔ 連續(xù)調(diào)整電子束的電流強(qiáng)度，同時(shí)優(yōu)化束斑大小。

✔ 可在低束流的高分辨率成像與高束流的分析模式之間進(jìn)行無縫切換。

✔ 在更改成像參數(shù)后無需進(jìn)行校準(zhǔn)，省時(shí)省力。

保持靈活，高效工作

✔ 保持靈活：使用高電子束能量密度在低束流和高束流下進(jìn)行高分辨率成像和分析，不受您選擇的電子束能量影響。

✔ 樣品不會(huì)暴露于磁場中：實(shí)現(xiàn)了大觀察視野內(nèi)的無失真EBSD圖案和高分辨率成像。

✔ 樣品傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不影響電子光學(xué)系統(tǒng)的性能，磁性樣品也能輕松成像。

✔ 選擇適合樣品的消荷電模式：局部電荷補(bǔ)償、腔室內(nèi)可變壓力或NanoVP。

●　Gemini 3

在低于1 kV條件下成像——整合專業(yè)知識(shí)

Gemini 3光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化了低電壓和極低電壓下的分辨率并實(shí)現(xiàn)了襯度增強(qiáng)，確保從1 kV到30 kV的所有工作條件下成像效果可達(dá)高分辨率且包含兩個(gè)彼此協(xié)同運(yùn)作的組件：Nano-twin物鏡和全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。此外，它還具有高分辨率電子槍模式和可選的樣品臺(tái)減速技術(shù)（Tandem decel）。

分辨率模式——讓您看到更多細(xì)節(jié)

通過兩種模式可獲得SEM圖像的更多細(xì)節(jié)和更多探測信號(hào)。在高分辨率電子槍模式下，電子束色差降低，從而實(shí)現(xiàn)了更小的束斑；在樣品臺(tái)減速技術(shù)模式下，為樣品施加減速電壓，從而可進(jìn)一步提高1 kV以下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測器的檢測效率。

Gemini 3鏡筒的全新光學(xué)設(shè)計(jì)。GeminiSEM 560的截面示意圖。Nano-twin物鏡（紅色），Smart Autopilot（藍(lán)色）。

Nano-twin物鏡的優(yōu)勢：

✔ 在低電壓和超低電壓下達(dá)到亞納米級(jí)分辨率，實(shí)現(xiàn)更出色的信號(hào)探測效率。

✔ 與標(biāo)準(zhǔn)Gemini物鏡相比，在低電壓下的物鏡像差降低了三倍，從而使樣品上的磁場降低了三倍，約為1 mT。

✔ 優(yōu)化幾何結(jié)構(gòu)和靜電場及磁場分布。

✔ Inlens探測器在低電壓成像條件下的信號(hào)得到增強(qiáng)。

✔ 這些特性提供了在低于1 kV的條件下完成亞納米級(jí)成像的能力，而無需將樣品浸入電磁場中。

工作原理：

✔ Smart Autopilot優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌跡，從而確保了在每個(gè)加速電壓下盡可能高的分辨率。

✔ 該自動(dòng)功能實(shí)現(xiàn)了在整個(gè)放大倍率范圍內(nèi)（從1倍到2,000,000倍）的無縫對(duì)準(zhǔn)自由切換，并將觀察視野增加了10倍，從而可以在單幅圖像中對(duì)13 cm的物體成像。

✔ 32k×24k的圖像存儲(chǔ)分辨率與新的概覽模式相結(jié)合，確保在超大觀察視野內(nèi)獲得無拼接的像素密度。